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簡要描述：晶圓烘箱適用于對加熱中需要氮氣保護或對氧含量和潔凈度有較高要求的產品及材料在恒溫或階梯溫度下進行預熱、老化、烘烤、固化、淬火等工藝以及恒溫適應性試驗
產品型號：CTCO廠商性質：生產廠家更新時間：2025-10-10訪 問 量：1391相關文章ARTICLES
詳細介紹
| 品牌 | 愛義信 | 加熱方式 | 不銹鋼無塵加熱器 |
|---|---|---|---|
| 內膽材質 | 鏡面不銹鋼 | 內膽尺寸 | W800*D600*H1000mmcm |
| 外形尺寸 | W1300*D900*H1800mmmm | 溫度波動 | ±0.5℃℃ |
| 溫度范圍 | RT+10~350℃℃ | 價格區(qū)間 | 8千-1.5萬 |
| 儀器種類 | 精密烘箱 | 產地類別 | 國產 |
| 應用領域 | 化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件,電氣 |
晶圓烘箱外觀結構：
★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆，工作室采用SUS304#潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理
★工作室內百級，采用進口 H14耐高溫高效過濾器，過濾率0.3μm粒子99.995％以上
★隔熱層采用120mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料，表面溫度＜45℃
★門框密封采用無氟硅橡膠密封條，耐高溫，抗老化
★隔板可調整高度及增減數(shù)量
晶圓烘箱風路系統(tǒng)：
★采用密封內循環(huán)風路，減少氮氣消耗
★采用倒U型風道結構設計，箱內兩側單向水平送風，風道倉內強壓送風
★特殊可調導風板設計，保障工作室內送風均勻
★大功率三相異步耐高溫長軸馬達，不銹鋼渦輪扇葉（出廠動平衡調整）結合不銹鋼蝸牛殼結構結合兩側不銹鋼沖孔風板，風力強勁，送風均勻，平穩(wěn)，工作噪音<65dB
溫控系統(tǒng)：
★不銹鋼無塵加熱器，潔凈無塵
★PLC+7寸彩色觸摸屏，HMI人機交互系統(tǒng)，中文操作界面，全自動程序運行模式， PID智能演算，自動恒溫，超溫保護，傳感器斷線保護，斷電記憶功能，帶氧含量、溫度值，工作狀態(tài)（排氧、維持、加熱、電磁閥、及故障等）監(jiān)控界面、程序設定界面、歷史曲線界面、歷史數(shù)據(jù)功能，可通過USB導出數(shù)據(jù)，搭配PC端溫度數(shù)據(jù)處理軟件
★采用導軌式智能AI溫度控制模塊，控溫精度0.1級，自動恒溫，智能PID演算，帶30段程序升溫，帶傳感器斷線警報，AT自整定，超溫控制，斷電記憶功能，控溫準，穩(wěn)定性好
★高精度PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器
安全系統(tǒng)：
★按鍵鎖
★超溫保護
★電流過載保護
★漏電保護
★接地保護
規(guī)格參數(shù)：
| 設備型號 Model | CTCO-180(A/B) | CTCO-270(A/B) | CTCO-480(A/B) |
| 控溫范圍 Operating Temp. Range | RT+10~350℃ | ||
| 溫度分辨率 Temperature resolution | 0.1℃ | ||
| 溫度波動度 Control stability | ±0.5℃ | ||
| 溫度均勻度 Temperature uniformity | ±1.5℃（ａｔ100℃ 恒溫空載狀態(tài)下） ±2.5℃（ａｔ200℃ 恒溫空載狀態(tài)下） ±3.5℃（ａｔ300℃ 恒溫空載狀態(tài)下） ±5.0℃（ａｔ350℃ 恒溫空載狀態(tài)下） | ||
| 潔凈度 Cleanliness | 百級 Class100/ 千級 class1000 | ||
| 高效過濾器 HEPA | H14耐高溫高效過濾器，過濾率0.3μm粒子99.995％以上 | ||
| 氧含量 Oxygen content | <20ppm | ||
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